HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液质流量计

深圳市天铉真空技术有限公司HORIBA STEC流量计LF-410A-EVD TEOS 4g/min液质压力计

sell  Exchang  Repair

Debbbbbbion注入机 FILAMENT P.S电源MKS薄膜真空压力计750C11MGA4GF

Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply

sell  Exchang  Repair Debbbbbbion注入机 FILAMENT P.S电源  

ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延长了使用寿命

加热元件的发热越有效，需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够热输出的涂层工艺。

钨基层具有高孔隙率的

• 钼（熔点：2620°C）和钨（熔点：3420°C）均是难熔金属，高熔点使它们非常适合用于诸如 MOCVD 和 MBE 之类的高温工艺。

• 耐腐蚀：
  钼和钨在各种环境中都具有耐腐蚀性，甚至在温度下也是如此：

• 在操作过程中，反应室部件中的杂质也可能污染半导体。要保证半导体的质量和 LED 或晶体管的效率，我们的材料必须无杂质。我们保证材料纯度高于 99.97%。
  
  

• 蒸气压低：