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PSA制氧机主要由空气压缩机、空气冷却器，空气缓冲罐、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉尘埃颗粒后,被空气压缩机增压至3~4barg而进入其间一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂,其间水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附,随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包含氩气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。当该吸附器吸附到必定程度,其间的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀放空，已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分排至大气,吸附剂得到再生。

PSA的每个吸附器都替换执行以下过程:

---吸附---解吸---冲压

上述三个基本的工艺过程由PLC和切换阀体系来完成自动控制。

变压吸附制氧设备（也称PSA制氧设备），在常温常压的条件下，使用PSA分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，然后取得纯度较高的氧气(93%±2)。变压吸附制氧设备自进入工业化以来，技能发展迅速，因为其价格性能比在中低产量范围及纯度要求不太高的场合具有较强的竞争力，因而被广泛地应用于炼钢助熔、高炉富氧、纸浆漂白、玻璃炉窑、废水处理等范畴。国内对这项技能的研究起步较早，然而在较长的一段时间内发展相对较缓。自进入九十年代以来，变压吸附制氧设备的*性逐步被国人认可，近几年各种流程的设备相继投产